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TS-C1400

参考距离 13.7mm
测量范围 ±0.7 mm
重复精度 40nm
线性误差 < ±0.28 μm
光斑类型/尺寸 Φ13 μm
测量角度 ±18°
重量 39g
温度特征 <0.02%  F.S./°C
最小可测厚度 5% of F.S.
外形尺寸 Φ15*37.5 mm
防护等级 IP40
4006609896
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