参考距离:以量程中心位置计算;
测量角度:使用标准平面反射镜倾斜测试;
光斑直径:测量锐利玻璃边缘,采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证;
静态噪声*2:测量标准镀银膜反射镜,1kHz无平均,连续采集10000组数据的均方根偏差;
线性误差:采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证;
CR命名:CR开头的型号为90°侧向出光版本,适用于深孔、内壁、侧面等特征测量;