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光谱共焦位移传感器TS-C1200

 
参考距离:20mm
测量范围:±0.6mm
光斑直径:Φ9.5μm
测量角度:±32°
静态噪声*2:30nm
线性误差:<±0.3μm
横向分辨率:4.75μm
外径*长度:φ36*106.3mm
重量:182g
产品详情
参数说明

TS-C1200.jpg

参考距离:以量程中心位置计算;

测量角度:使用标准平面反射镜倾斜测试;

光斑直径:测量锐利玻璃边缘,采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证;

静态噪声*2:测量标准镀银膜反射镜,1kHz无平均,连续采集10000组数据的均方根偏差;

线性误差:采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证;

CR命名:CR开头的型号为90°侧向出光版本,适用于深孔、内壁、侧面等特征测量;



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