中华自主品牌丨精密测量专家
专注于高精度位移传感器的研发与生产

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光谱共焦位移传感器TS-C4000F

 
参考距离:38mm
测量范围:±2mm
光斑直径:Φ16μm
测量角度:±21°
静态噪声*2:100nm
线性误差:<±0.8μm
横向分辨率:8μm
外径*长度:φ36*146mm
重量:226g
最小可测厚度:5% of F.S.
温度特征:<0.03% of F.S./℃
防护等级:IP40
产品详情
参数说明

苏州创视智能技术专注于超精密测量检测技术领域,主营光谱共焦位移传感器、激光位移传感器等高端智能传感器的研发、生产及销售业务。


TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的测量速度,以及±60°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。


产品型号支持根据客户需求定制,定制参数范围包括参考距离1~150mm,测量范围0.1~50mm,测量角度±5°~65°,光斑直径1~100 µm,横向分辨率0.5~50 µm,纵向分辨率4~2000nm,采样频率最高10kHz。详细情况可点击“关于我们”页面获得联系方式。

TS-C4000F.jpg

参考距离:以量程中心位置计算;

测量角度:使用标准平面反射镜倾斜测试;

光斑直径:测量锐利玻璃边缘,采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证;

静态噪声*2:测量标准镀银膜反射镜,1kHz无平均,连续采集10000组数据的均方根偏差;

线性误差:采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证;

CR命名:CR开头的型号为90°侧向出光版本,适用于深孔、内壁、侧面等特征测量;



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