苏州创视智能技术专注于超精密测量检测技术领域,主营光谱共焦位移传感器、激光位移传感器等高端智能传感器的研发、生产及销售业务。
TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的测量速度,以及±60°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。
产品型号支持根据客户需求定制,定制参数范围包括参考距离1~150mm,测量范围0.1~50mm,测量角度±5°~65°,光斑直径1~100 µm,横向分辨率0.5~50 µm,纵向分辨率4~2000nm,采样频率最高10kHz。详细情况可点击“关于我们”页面获得联系方式。
参考距离:以量程中心位置计算;
测量角度:使用标准平面反射镜倾斜测试;
光斑直径:测量锐利玻璃边缘,采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证;
静态噪声*2:测量标准镀银膜反射镜,1kHz无平均,连续采集10000组数据的均方根偏差;
线性误差:采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证;
CR命名:CR开头的型号为90°侧向出光版本,适用于深孔、内壁、侧面等特征测量;