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光谱共焦位移传感器TS-C6000

 
参考距离:40mm
测量范围:±3mm
光斑直径:Φ22μm
测量角度:±14°
静态噪声*2:140nm
线性误差:<±1.2μm
横向分辨率:11μm
外径*长度:φ30*71mm
重量:112g
最小可测厚度:5% of F.S.
产品详情
参数说明

TS-C6000.jpg

参考距离:以量程中心位置计算;

测量角度:使用标准平面反射镜倾斜测试;

光斑直径:测量锐利玻璃边缘,采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证;

静态噪声*2:测量标准镀银膜反射镜,1kHz无平均,连续采集10000组数据的均方根偏差;

线性误差:采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证;

CR命名:CR开头的型号为90°侧向出光版本,适用于深孔、内壁、侧面等特征测量;



联系电话:13902964721                             联系邮箱:service@tronsight.com                                联系地址:江苏省苏州市吴中区珠江路888号