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光谱共焦位移传感器TS-CR1500

 
参考距离:5.75mm
测量范围:±0.75mm
光斑直径:Φ20μm
测量角度:±14°
静态噪声*2:80nm
线性误差:<±0.3μm
横向分辨率:10μm
外径*长度:φ8*47.7mm
重量:约20g
最小可测厚度:10% of F.S.
温度特征:<0.03% of F.S./℃
防护等级:IP40
产品详情
参数说明

TS-CR1500.jpg

参考距离:以量程中心位置计算;

测量角度:使用标准平面反射镜倾斜测试;

光斑直径:测量锐利玻璃边缘,采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证;

静态噪声*2:测量标准镀银膜反射镜,1kHz无平均,连续采集10000组数据的均方根偏差;

线性误差:采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证;

CR命名:CR开头的型号为90°侧向出光版本,适用于深孔、内壁、侧面等特征测量;

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