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光谱共焦传感器TS-C600

 
参考距离:6.5mm
测量范围:±0.3mm
光斑直径:Φ8μm
测量角度:±32.5°
静态噪声*2:16nm
静态噪声*3:0.15μm
线性误差:<±0.18μm
横向分辨率:4μm
外径*长度:φ20*110 mm
重量:73g
最小可测厚度:5% of F.S.
产品详情
参数说明

TS-P30.jpg

参考距离:以量程中心位置计算;

光斑直径:采用光束分析仪测试验证;

静态噪声*3:测量标准白色陶瓷样件,50kHz无平均,取65536组测量数据的均方根偏差(1δ );

静态噪声*4:测量标准白色陶瓷样件,50kHz平均次数4096时,取65536组测量数据的均方根偏差(1δ );

线性误差:采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证;

光源:采用光束分析仪测试验证,激光功率可根据不同应用需求定制;

工业接口:探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出;


联系电话:13902964721                             联系邮箱:service@tronsight.com                                联系地址:江苏省苏州市吴中区珠江路888号